性能指标：水下液压源主要考虑机械手的工作流量(5.7-19.0l/min)与最大工作压力(210ba

气动元件及系统参数测控装置的建立可以大大提高气动元件的研究开发水平，目前国内对气动元件的开发水平还很

技术指标：电主轴转速A6:8000rpm，25KW；A4:12000rpm，15KW最高供油压力15

该设备是在低压高温的条件下，通过化学反应气相外延的方法在衬底上沉积各种功能薄膜（主要是在4寸硅衬底上

性能指标：功率：80kW；转速：500—3000rpm；最高压力：350bar柱塞腔内安装6个微型压

性能指标：变频电机转速:150~3000r/min；变频电机功率22kW；系统最高压力28Mpa；负

主要功能：满足新原理大流量电液比例阀、快速缓冲比例阀和比例伺服阀的样机研制需求,完成大流量电液比例/

性能指标：1.油箱容积：2000L，材质：不锈钢。2.泵比例变量泵：2台31.5MPa最大排量≥60

技术指标：泵源能为系统提供压力为35MPa，最大为140L/min的油液。拟采用PARKER公司PV

性能指标：额定深度：1000米尺寸：长（1030mm）x宽（700mm）x高（590mm）重量：15