机械电子控制工程研究所
1、流体动力与智能控制研究所:
研究方向:流体动力基础件 电液控制理论及工程应用 气动技术与工业自动化系统 机电液装备智能控制
2、智能装备与机器人研究所:
研究方向:智能工程装备 机器人感知与控制 生物制造 柔性驱动与传感
3、精密工程与微纳技术研究所:
研究方向:光刻机浸液系统 面向半导体制造的超洁净流控部件 超精密加工与测量技术 微纳器件与系统集成 传感器与智能仪器
4、机电控制技术与工程研究所:
研究方向:海洋环境观测及感知技术 新能源装备机电液技术 机器视觉与机电装备智能诊断技术 机械系统振动噪声测控技术 人机智能机电系统技术