主要技术指标：
在技术指标上能够满足XY方向噪音水平: 开环控制< 0.1nm, 闭环控制< 0.15nm，Z方向噪声水平: 开环控制< 0.3A ，闭环控制< 0.35A（图象测试），< 0.5A（力测试）的标准，符合实验室内精密测量的尺度标准，达到了目前世界先进水平。仪器所包含的微流控仪通过调节压力源的压力可以保证精确稳定无脉冲的压力输出，并且仪器配置的流量传感器通过负反馈调节给流体施加压力，从而保持流量稳定，响应时间小于40ms，分辨率小于1.5Pl/sec，是微流控系统流量测量的最佳设备。
主要功能：
能够准确的观测流体的结构特征，在精确操控微尺度流体同时可对流体进行物理化学特性进行研究的同时，能测试多种流体的纳米力学特性、温度、电势、磁场力、静电力、剪切力、化学浓度梯度等性质。
应用范围：
主要用于微流体的操控与测量，在获取样品高分辨率图像的同时，对其纳米物理学与化学性能分析获得性能图谱；可在–35°C到250°C范围内在样品上实现温控和热分析，多种AFM模式成像，也可进行液体直接成像。